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MTI Instruments手動半導體計量系統

發布時間：2021-06-28 17:08:07     瀏覽：2020

MTI Instruments晶圓測厚儀是一種基于電容的差分測量系統，它能夠不接觸地測量半導體和半絕緣晶圓的厚度。采用MTI推拉技術，MTI Instruments不需要具備相同電接地的晶片，從而為大多數晶圓類型提供了優良的精度和中繼器。MTI Instruments系統包括完整的遙控操作軟件和以太網網絡接口功能。

特性

前端USB端口能夠方便地將測量數據和其他數據存儲在閃存;

MTI儀器的專用電容器電路具有優良的精度和可靠性;

非接觸測量;

直徑76-300毫米晶圓范圍;

可選晶片測量環;

精密定心用晶片塊;

以太網接口;

完整的遠程控制軟件(Windows兼容);

可選校準晶片;

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 MTI Instruments.png

P/N

Model

Measurement Range

Accuracy

Resolution

Type

Frequency Response





8000-6760-001

Proforma 300i

1700μm (66.9mil/s)

±0.25 μm

0.05μm

Desktop System

16.6Hz





8000-6760-002

Proforma 300Gi

1700μm (66.9mil/s)

±0.25 μm

0.05μm

Desktop System

16.6Hz





 

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